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具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計，工程設(shè)計水平的好與壞將直接關(guān)系到整個工程之后的施工，還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。

相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。凈化工程的等級劃分比較的嚴(yán)格，一般按照7個等級進(jìn)行的劃分，分別是1級，10級，100級，1000級，10000級，100000，1000000級，凈化安全要求是根據(jù)等級來實施的，凈化工程等級數(shù)越小，級別是越高的，其含塵量越少，排名是靠前的。凈化工程的一般施工程序：粉塵作業(yè)，無塵作業(yè)后，不允許交叉作業(yè)。 否則會影響項目的質(zhì)量。 也就是說，在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后，可以進(jìn)行無塵操作。

1級：主要應(yīng)用于電子工業(yè)，這是目前對凈化工程要求高的環(huán)境，集成電路要求的精度要達(dá)到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的突飛猛進(jìn)，對潔凈室的要求越來越高。及時生產(chǎn)間內(nèi)的例子直徑僅有1微米，也會使產(chǎn)品壽命受到影響。凈化工程在設(shè)計時，工程的墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板，其特點為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，要選用防靜電型。送回風(fēng)管道一般用鍍鋅鋼板，不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應(yīng)選用凈化車間專用燈具。