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具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。1級：主要應用于電子工業(yè)，這是目前對凈化工程要求高的環(huán)境，集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術領域的突飛猛進，對潔凈室的要求越來越高。及時生產間內的例子直徑僅有1微米，也會使產品壽命受到影響。設計合理的空間面積應考慮到設備操作、維修的需要。生產區(qū)和儲存區(qū)應有與生產規(guī)模相適應的空間面積，用以安置設備、物料，便于操作和維修。

凈化工程的步的關鍵是設計，工程設計水平的好與壞將直接關系到整個工程之后的施工，還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟性。設計合理的空間面積應考慮到設備操作、維修的需要。生產區(qū)和儲存區(qū)應有與生產規(guī)模相適應的空間面積，用以安置設備、物料，便于操作和維修。設計凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級，增加一級過濾器。

潔凈車間也與其他高技術一樣，潔凈車間技術的誕生和初步應用是服務于軍事目的。在第二次世界大中，一些支、坦克、飛機等使用的儀器經(jīng)常失效。潔凈室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室。凈室及凈化空調系統(tǒng)都達到了了潔凈的要求之后，凈化空調系統(tǒng)必須要進行試運轉。好連續(xù)運轉12個小時以上，然后再次進行清掃，擦凈潔凈室后立即安裝過濾器。